価格: | ¥2530 |
著者: | 菅井秀郎 |
出版社: | オーム社 |
発行年月: | 2000年08月 |
ISBN: | 9784274132100 |
種類: | 単行本 (インターユニバーシティ) |
在庫状況: | お取り寄せ |
本書は、プラズマプロセス技術に対するニーズの高まりを背景に、時代に即応した新しい目でプラズマの教科書を見なおし、基礎的な考え方を把握してもらうことを念頭に書いたものである。プラズマをミクロな視点とマクロな視点に立ってわかりやすく説明し、最近のプラズマプロセスで用いられる新しいプラズマのつくり方を説明した。