ＩＣから、ＵＬＳＩ、さらにＧＳＩへと発展しようとしている集積回路は、高度情報・通信社会の基盤を支える技術である。本書はこれら最先端の集積回路を実現するために必要な、広範囲なプロセス技術に関する解説書である。