本書では、多くの走査プローブ顕微鏡法のうちから、現在もっとも広く使用されていると考えられる走査トンネル顕微鏡法、原子間力顕微鏡法および、この外の主なプローブ顕微鏡法に関して、その原理、装置、測定例、応用例についてとりあげている。