価格: | ¥4400 |
著者: | 大森裕 |
出版社: | シーエムシー出版 |
発行年月: | 2013年07月 |
ISBN: | 9784781307275 |
種類: | 単行本 (エレクトロニクスシリーズ) |
在庫状況: | 在庫あり |
近年活発化する有機デバイス、その代表例として有機EL、有機太陽電池をはじめとする光デバイスの作製に用いられる薄膜作製技術と有機トランジスタ、センサーなどの電子デバイスの作製に用いられる薄膜作製技術を取り上げ、薄膜形成法として、大きくドライプロセスとウエットプロセスに分けてデバイス作製の例を紹介。薄膜の評価技術、有機材料の薄膜作製の特性などを含めた「有機薄膜作製技術」の最新技術も紹介した。