価格: | ¥4620 |
著者: | 古川静二郎 |
出版社: | 産業図書 |
発行年月: | 1987年10月 |
ISBN: | 9784782856253 |
種類: | 単行本 (集積回路プロセス技術シリーズ) |
在庫状況: | お取り寄せ |
本書は、次の時代あるいは現在の時代でも、最も先端的な半導体技術の主要な要素技術のひとつといえるSOI(Silicon on Insulator)形成技術に関するものである。本書は、適度な重点主義の採用により個々の手法の原理、現状、問題点を深く把握でき、それでいて相互の手法の得失を理解でき、さらに応用例の現状も知ることができ、最終的に読者が自分で将来の本命技術を占えるように編集したつもりである。