半導体デバイスは高集積化の一途をたどっているが，集積度が高くなると従来のデバイスに適用されていた一次元モデルが適用できなくなる。本書はＶＬＳＩデバイスを従来のデバイスに関連づけて述べ、その物理的意味を明らかにすることを目的としているが、本書を本シリーズに取り上げたのは、今後ますますデバイスと材料・プロセスの関係が緊密化し、ＶＬＳＩがさらに発展するためには、両者の知識が不可欠にならざるを得ないからである。