価格: | ¥3960 |
著者: | 日本表面科学会 |
出版社: | 丸善出版 |
発行年月: | 1999年07月 |
ISBN: | 9784621046234 |
種類: | 全集・双書 (表面分析技術選書) |
在庫状況: | |
エレクトロニクス材料をはじめとする各種材料およびこれらを利用した機能デバイスの高度化に伴い、材料の表面・界面の正しい評価および管理技術が重要度を増してきた。日本表面科学会では、このようなニーズに応えるために「表面分析技術選書」を企画した。本書は、その企画の一環として執筆したSIMSの実用書であり、世界で最初に試みた単行本であるといえる。