価格:¥3960
著者:日本表面科学会
出版社:丸善
発行年月:2004年02月25日頃
ISBN:9784621073612
種類:全集・双書 (表面分析技術選書)
在庫状況:
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からSEMの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がSEMでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。
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