価格: | ¥3960 |
著者: | 日本表面科学会 |
出版社: | 丸善 |
発行年月: | 2004年02月25日頃 |
ISBN: | 9784621073612 |
種類: | 全集・双書 (表面分析技術選書) |
在庫状況: | |
本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からSEMの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がSEMでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。